气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

根据压头上自动连续增加的垂直载荷测定完全划透薄膜并使之从其基体上连续剥离需要的小载荷 即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷 L C

测定 L C 的自动划痕试验机的结构原理如图1示 该仪器由下列主要部件组成： A—压头连续加载电机 B—声发射探头 探测划痕产生的声发射强度并输入微机 C—洛氏硬度计标准压头 D—试样台 E—位移电机 用以匀速沿水平方向拖动试样台 F—切向摩擦力传感器 连续检测压头与薄膜之间的摩擦力并输入微机 G—试样台高度升降螺杆 H—加载压力传感器 I—光学显微镜(≥40×) J—信号放大器 K—变换控制器 L—微型计算机嵌入式工业电脑 用以实施测试自控和自动处理数据 并动态显示及存贮数据与图形 M—试样 N—CRT 显示器 O—绘图打印机 输出试验结果 P—压头加载机构 Q—主支架

执行标准：JB/T 8554-1997

技术参数

控制系统：PLC+Windows系统

操作界面：彩色触摸屏15寸嵌入式工业电脑

样品尺寸：长方体： 长 40～50mm 宽 30～45mm 高 6～20mm 或圆柱体 φ (40～45)mm×(6～20)mm

样品要求：试样在温度(20± 5)℃和相对湿度(50±10)%RH的条件下至少放置 8 h 然后按规定步骤测试只需很少的测试次数即可评价划痕特性

压头规格：按 GB/T 2848 规定的条件选择金刚石压头(顶角 120° 顶端半径 R 在 200 μ m± 5 μ m范围内) 在不小于 40 倍的显微镜下检测压头 确认其顶端是光滑洁净的球面 方可使用

划痕速度： (10± 1)mm/min可在触摸屏任意设置

加载速率： 对硬质薄膜为(20～40)N/min对非硬质薄膜为(5～10)N/min极限压力100N

精度： 0.03 N

电机：伺服电机86型+驱动器

运动模式：丝杆+导轨精度0.001mm

光学显微镜：50倍以上镜片配置

曲线图：加载压力恒定压力摩擦力垂直载荷关系图XY关系图

测试高度范围：0-100mm

测试模式：往复式运动可单线运动工业电脑触摸屏上设置

运动范围：Y距离0-900mmY距离0-540mm

用电：220V,120W,20A,50hz

外形尺寸约：1000mm*600*640mm